拉伸單晶和PBN坩場制造用石墨異形件加工

拉伸單晶和PBN坩場制造用石墨異形件加工拉伸單晶所用石墨異形件加工

石英蠟場制造用石墨坩場和超高純石墨部件加工在Cz法拉伸單晶硅時(shí)使用石英坩蝸。石墨異形件加工石英坩期的制造工藝為在石墨模具內(nèi)裝人天然的水晶粉末（a-Si0,)，在旋轉(zhuǎn)的同時(shí)利用離心力使粉末沿模具內(nèi)壁附著，然后將多個(gè)高純石墨異形件加工插入模具中利用電弧放電加熱至大約2000℃，溶融粉末和內(nèi)側(cè)的粉末變化為溶融石英并透明，冷卻后取出石英址鍋，除去外部粉末即為制品。電極因放電而氧化消耗，由于電極放置在水晶粉末的上方，為不混入金屬雜質(zhì)需使用超高純石墨。圖2-52所示為石英坩塌制造裝置的概略圖。

PBN(熱分解氮化硼）坩場制造用石墨異形件加工在拉伸單晶化合物時(shí)使用PBN坩塌。PBN坩場的制造工藝為，以加工成型的高純石墨模具為基材，利用CVD法在其表面蒸鍍BN。由于石墨的線膨脹系數(shù)比PBN的大，冷卻后能容易取出PBN坩場。為了提高PBN的純度，也要求使用高純石墨異形件加工。