光纖維用高純石墨制品的用途

光纖維用高純石墨制品的用途光纖維用高純石墨制品

（1）石英預(yù)制棒的制造用高純石墨制品。作為光纖原料的石英預(yù)制棒是用VAD(Vapor-phase Axial Deposition)等方法制成的棒狀原料。由于石英預(yù)制棒所含有的氣泡可以造成拉絲光纖質(zhì)量缺陷，所以有必要在1000℃以上加熱，除去氣泡，這種加熱爐使用籠狀石墨加熱器。圖2-49所示為其形狀例，另外，為除去預(yù)制棒中影響透光率的OH基，需要在氯氣中進(jìn)行熱處理，該處理爐中使用高純石墨筒。圖2-50所示為通過(guò)石墨模拉絲的光導(dǎo)纖維。

（2）光導(dǎo)纖維拉伸線爐用高純石墨制品。光通信所使用的光導(dǎo)纖維的制造工藝為，將直徑少50~100mm的高純石英棒在Ar氣體氣氛及2000℃以上加熱熔融，利用其重力下垂拉伸而生產(chǎn)4100um左右的纖維。在加熱爐內(nèi)大量使用石墨制品，如高純石墨的加熱器、均熱用的爐芯管、排氣管、保溫筒以及用炭纖維制的保溫材料。為了降低石英中雜質(zhì)的混入量，都使用高純材料。圖所示為加熱器形狀的一例。

其他用途炭高純石墨制品

本文主要說(shuō)明制造半導(dǎo)體、通信和電子器械過(guò)程中所必要的間接部件及其他用途中使用的高純石墨制品。