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石墨熱場(chǎng)的性能優(yōu)勢(shì)
    耐高溫性:石墨熔點(diǎn)達(dá)3650℃,可在真空或惰性氣體環(huán)境中長(zhǎng)期安穩(wěn)工作,習(xí)慣極端高溫條件。
    化學(xué)安穩(wěn)性:耐酸堿腐蝕,避免與熔融硅反應(yīng)生成碳化硅雜質(zhì),滿足半導(dǎo)體級(jí)硅材料純度要求。
    導(dǎo)熱與機(jī)械強(qiáng)度:抗壓強(qiáng)度≥80MPa,兼具導(dǎo)電性與結(jié)構(gòu)安穩(wěn)性,適配大尺寸單晶爐(如36英寸以上硅棒出產(chǎn))。
    本錢效益:石墨資源豐富,加工本錢低于鎢鉬等金屬材料,且使用壽命長(zhǎng),降低概括出產(chǎn)本錢。

石墨熱場(chǎng)

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