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在做半導(dǎo)體時石英坩堝要套上石墨坩堝的原因是什么?

作者:http://www.hrbhunqing.com 發(fā)布時間:2023-10-28 15:15:11

     只是會增加熱阻,你放東西進去加熱作用會變得很差。當(dāng)然假如你套得非常非常緊的話,加熱后石墨坩堝可能會裂開。石墨坩堝會在酒精燈上產(chǎn)生焚燒,石英坩堝因受熱不均可能會導(dǎo)致出現(xiàn)裂縫 。
    石英坩堝可在1650度以下運用,分通明和不通明兩種。用電弧法制的半通明石英坩堝是拉制大直徑單石英坩堝晶硅,是開展大規(guī)模集成電路必不可少的根底材料。當(dāng)今,世界半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)達國家已用此坩堝替代了小的通明石英坩堝。它具有高純度、耐溫性強、尺度大、精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量安穩(wěn)等長處。
    石墨坩堝的主體材料,是結(jié)晶形天然石墨。故它保持著天然石墨原有的各種理化特性。
    石墨坩堝具有出色的熱導(dǎo)性和耐高溫性,在高溫運用過程中,熱膨脹系數(shù)小,對急熱、急冷具有必定抗應(yīng)變功用。對酸,堿性溶液的抗腐蝕性較強,具有優(yōu)秀的化學(xué)安穩(wěn)性。
    石墨坩堝,因具有以上優(yōu)秀的功用,所以在冶金、鑄造、機械、化工等工業(yè)部門,被廣泛用于合金工具鋼的訓(xùn)練和有色金屬及其合金的熔煉。并有著較好的技能經(jīng)濟作用。
    直拉法出產(chǎn)單晶硅時的情況,石英坩堝為什么要套上石墨坩堝?
    主要起輔助熱場安穩(wěn)性進行拉制單晶硅的作用
    1.石墨坩堝出色的熱安穩(wěn)性
    2.石墨坩堝出色的耐腐蝕、耐沖擊功用、以保證產(chǎn)品質(zhì)量的可靠性。
    3.石墨坩堝出色的耐強酸 、強堿。
    4.石墨坩堝出色的熱傳導(dǎo)功用:可以極大縮短熔煉時刻,節(jié)約能源。
    5.石墨坩堝的灰分小于300pp,確保貴金屬在訓(xùn)練中不被污染。
    具有出色的中子減速功用,最早作為減速劑用于原子反應(yīng)堆中,石墨反應(yīng)堆是現(xiàn)在運用較多的一種原子反應(yīng)堆。作為動力用的原子能反應(yīng)堆中的減速材料應(yīng)當(dāng)具有高熔點、安穩(wěn)、耐腐蝕的功用。

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