什么是石墨舟裝載室？
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發(fā)布時間：2023-10-09 15:39:30
石墨舟裝載室:用于太陽能工作和PECVD運載車輛支撐，裝載硅片，制備中高效過濾器，保證吹出的空氣滿足凈化要求。
石墨舟作業(yè)原理: 空氣經(jīng)過高效過濾后，均勻壓入阻尼層，使?jié)崈魵饬鞔怪?、單向送入負載作業(yè)區(qū)，然后保證作業(yè)區(qū)的潔凈度滿足工藝要求。操作人員在清潔的環(huán)境中將硅片安裝到石墨舟上。
石墨舟主要特點:
1、能精確地使石墨舟軸承板小車定位;
2、全不銹鋼制作，整機結(jié)構(gòu)健壯牢靠;
3、選用GK系列高效空氣過濾器3臺;
4. PECVD運載車輛內(nèi)部可傾斜15度或旋轉(zhuǎn)180度;
5、凈化風機的噪聲小于50dB.
6、保證作業(yè)區(qū)域的潔凈度達到工藝要求100級。