半導(dǎo)體工業(yè)用石墨制品有什么要求？

      半導(dǎo)體工業(yè)用石墨制品有較低灰分、高純的功能要求，一般需求用到高純石墨，通過純化工序能夠抵達(dá)5~50ppm，在半導(dǎo)體工業(yè)中，高純石墨主要是作為加熱體系、保溫罩、電極等存在，選用高純石墨做這些部件也是充分利用了高純石墨耐高溫這一特色。高純石墨的耐腐蝕、抗氧化、導(dǎo)電導(dǎo)熱的長處運用到了半導(dǎo)體工業(yè)中，使工件運用壽命更長、更加減磨省電。我司選用德國半導(dǎo)體等級石墨材料，精密制造離子注入用石墨耗材，供應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)件及客制化規(guī)格。
    高純度石墨根據(jù)均勻細(xì)顆粒的特性可作為低原子序數(shù)材料，對離子、等離子具有較強的抗炮擊才干，很強的抗腐蝕性，純度高沒有金屬離子不會對半導(dǎo)體產(chǎn)生污染，金屬部件暴露在離子注入設(shè)備中會形成高的損耗，故這時運用相應(yīng)的石墨件來作屏蔽罩。用于等離子cvd用部件
    等離子vcd用感受器、電極室、噴嘴、內(nèi)襯、濺射用電極、movcd感受器等。
半導(dǎo)體石墨模具、燃料電池導(dǎo)流板、石墨基體、切硅棒用石墨墊、電子束蒸發(fā)用石墨內(nèi)襯、玻璃金屬封裝用石墨舟、電子燒結(jié)模用石墨、離子注入用石墨部件、 單晶爐用石墨熱場等。