半導(dǎo)體工業(yè)用炭石墨制品的使用與選擇

半導(dǎo)體工業(yè)用炭石墨制品的使用與選擇半導(dǎo)體工業(yè)用炭石墨制品的使用與選擇

半導(dǎo)體工業(yè)是新興的科學(xué)技術(shù)，近年來(lái)受到了人們極大地重視，被認(rèn)為是20世紀(jì)60年代與原子能同等重要的科學(xué)新成就。而半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展與石墨材料在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用是分不開的。在半導(dǎo)體工業(yè)中主要采用高純石墨材料制造單晶爐石墨加熱系統(tǒng)、電子器件燒結(jié)模具、絕緣子燒結(jié)模具、可控硅管燒結(jié)模具等。

單晶爐用炭石墨制品

石墨加熱器。對(duì)單晶爐加熱系統(tǒng)的要求是能夠保證供給足夠的熱量，使硅、儲(chǔ)等迅速熔化，同時(shí)應(yīng)能保證精細(xì)而方便地調(diào)節(jié)溫度。故加熱通常采用電阻和高頻加熱兩種常用的電阻加熱主要包括一個(gè)變壓器和一個(gè)石墨加熱器。常見(jiàn)的石墨加熱器形狀有杯形、直筒形、螺旋形，如圖2-1所示。加熱器的尺寸、形狀、開槽高度主要考慮熔料多少和有利于拉晶，其電阻值要和變壓器遠(yuǎn)配。加熱器內(nèi)徑和高度的選擇，原則是使熔硅時(shí)，石墨托上部位于加熱器高溫區(qū)，拉制晶體時(shí)，石墨托底部位于加熱器高溫區(qū)。加熱器高溫區(qū)長(zhǎng)短和加熱器開槽長(zhǎng)短有關(guān)。加熱器內(nèi)徑和高度決定后，根據(jù)變壓器輸出功率來(lái)決定加熱器片厚，如變壓器最大輸出功率15AW,最大輸出電壓48”，則要求加熱器電阻值最好為0.152。再根據(jù)R一的4求出加熱器片厚t，b為寬度，L為長(zhǎng)度。單晶爐炭石墨制品加熱系統(tǒng)。